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蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展

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摘要

回顾了(0001)面蓝宝石衬底在LED的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程.归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状,分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机械化学和化学机械抛光在蓝宝石衬底中的应用进行了总结和分析,对比了不同方法对蓝宝石衬底的加工损伤特性和优缺点.

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来源
《航空精密制造技术》|2009年第3期|8-13|共6页
作者
周兆忠; 袁巨龙; 文东辉;
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作者单位

浙江工业大学浙西分校,衢州,324000;

浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州,310014;

浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州,310014;

浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州,310014;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类磨具、研具;
关键词
蓝宝石衬底; 超光滑表面; 固态照明; 发光二极体;

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