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乔大勇; 刘耀波; 王松洁; 程步青; 苑伟政;
西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;
微机电系统; 自适应光学; 表面牺牲层工艺; 分立式微变形镜;
机译:基于微机电系统(MEMS)的低温可变形镜
机译:多光束干扰设备的原理和设计:基于微机电系统的分段变形镜的自适应频谱衰减器
机译:使用分立式微电位计在mV范围内进行AC-DC传输测量
机译:微脉冲射流作为微机电系统的内燃机和航空航天工程的小型化技术。
机译:从基于微机电系统的基于微机电系统的芯片移除的方法用于原位透射电子显微镜
机译:多芯片干扰装置的原理和设计:基于微机电系统段可变形镜的自适应谱衰减器
机译:基于微机电系统(mEms)的微毛细管泵浦回路用于芯片级温度控制。
机译:用于电计量领域的万用表的电容式微机电系统,其电极配置为基于电极的相对位移获得电极之间的容量的二次方变化
机译:微机电系统元件及其制造方法,以及衍射式微机电系统元件
机译:通过微立体光刻技术制造电容式微加工超声换能器
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