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几种分立式微变形镜的性能模拟与比较

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摘要

采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜.结果表明方形与砖形排列的微变形镜设计简单,但波前校正性能较差;圆形及蜂窝形微变形镜具有较高的波前校正性能,但设计加工复杂.

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来源
《光学仪器》 |2005年第5期|60-63|共4页
作者
饶伏波; 乔大勇; 苑伟政; 姜澄宇;
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作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TIV256;
关键词
微机电系统(MEMS); 自适应光学; 微变形镜; 排列方式;

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