扫描电子显微镜在粒度分析中的应用

摘要

扫描电子显微镜(SEM)是利用聚焦极细的电子束作为照明源,以光栅状扫描方式照射到试样表面,并以入射电子与试样相互作用所产生的信息来进行成像的.采用扫描电子显微镜对收集在微孔滤膜上的颗粒进行分析,不仅可以观察微小颗粒的表面形貌,还可以与能谱仪配合进行颗粒粒径及数量的测量与统计,测试准确度高,因而在粒度分析领域具有不可替代的作用.主要介绍扫描电子显微镜在粒度分析中的应用.