激光分离脆性材料的研究

摘要

传统的脆性材料分离技术易于形成残余应力、微裂纹和边缘碎裂,而无法适应现代导体产业对精密加工和高纯度材料的需求。激光分离脆性材料工艺是一项无污染、不接触、生产精度高、实用性极强的脆性材料精密生产工艺。阐述了各种典型的脆性材料激光微工艺关键技术,包括激光分离、利用激光诱导的张力控制微裂纹扩展、以及激光束工艺的基本原理、性能和研究现状等。最后,展望了激光分离技术的发展前景。