坐标测量机测头系统的校准研究

摘要

介绍坐标测量机测头性能参数的校准和补偿方法;设计一套基于三维微宏移动平台和测力传感器的校准系统;采用该系统对坐标测量机模拟式测头的触发变形进行实验研究,获得测头的探测力和实际变形量;补偿后的测头系统在XY平面内探测标准测量球的误差不超过0.3μm,满足坐标测量机模拟式测头的校准需求。