平行极板间等离子体RF共振特性研究

摘要

为了探索用于AVLIS的更为有效的离子引出方法,对等离子体的RF共振离子引出方法进行了理论研究,用PIC方法对其进行了模拟.结果表明:在弱磁场下可产生鞘层-等离子体振荡,其振荡频率与理论一致;外加与振荡频率一致的交流电压后将发生共振,其振荡幅度大幅增加,电流加大,共振在等离子体中产生的最大电位幅度可高于外加电压幅度几倍;与离子引出方法中传统的平行板电场相比,RF共振法使得引出的离子流加大,离子引出时间显著缩短.若达到同样的引出时间,共振频率的交流电压的幅度可比直流电压值小一个量级.