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纳米微晶钛膜结构及其热稳定性

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摘要

介绍了用离子束辅助沉积法制备纳米微晶钛的活性特点.纳米钛膜在较宽范围温度处理后,用X射线衍射线宽法(谢氏公式)测定出Ti及TiHx晶粒尺寸长大有限.β-Ti纳米微晶氢化后转变成TiHx的现象由X射线衍射(XRD)谱图证实.由氢饱和工艺提供的氢钛原子比印证了TiHx XRD谱线代表的原子比.

著录项

来源
《原子能科学技术》 |2002年第5期|393-395|共3页
作者
方仁昌; 樊子荣; 谢平;
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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类引出系统和靶;
关键词
纳米钛膜; X射线衍射分析; 热稳定性;

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