气相色谱分析MOCVD中的Ⅲ-Ⅴ族挥发性无机氢化物及其反应尾气

摘要

为配合Ⅲ-Ⅴ族半导体研制和评定金属有机物化学气相沉积(简称MOCVD)装置的尾气处理效果,及其对安全的影响,研究了用气相色谱对所用的高纯氢化物的杂质、检测灵敏度及相对保留值;混合氢化物的组分;反应尾气中有害物在处理前后的含量变化等进行了测定.组分分离较好,相对标准误差小于2.3%.环保质量符合国家规定.