基于概率密度PCA的多模态过程故障检测

摘要

为了提高故障检测和分类能力,提出基于概率密度PCA的多模态过程故障检测算法.对各模态的训练数据建立PCA模型,计算各个模型的控制限和匹配系数.根据匹配系数计算各模态统一的控制限.对新来的数据,运用概率密度确定其模态.新来数据向对应模态的模型上投影并计算统一的统计量,比较统计量与控制限进行多模态过程故障检测.把该方法应用到数值例子和半导体过程中,仿真结果表明,该算法在分类及多模态过程故障检测方面具有很高的准确性.