一种改进湿式氧化过程中颗粒污染导致深坑的方法

摘要

cqvip:扩散炉管加热制程中分为湿式及干式氧化,厚度较厚的场区氧化层都使用湿式氧化方法,透过使用 氢气及氧气混合加热后产生水汽进入到炉管内部,与衬底基板反应生成二氧化硅。发现当混合气体经由 Torch传送到炉管内部沉积后发现含有金属镁的残留物。探讨炉管材料因高温热氧化后与水气发生化学变 化导致颗粒污染薄膜,透过更改现有连接材料使得微粒的污染减少。