使用SOI衬底的3-D CMOS成像仪

摘要

完全耗尽型SOI、红外对准、硅片间的低温氧化物键合以及高密度的3-D通孔等技术被成功地结合起来,用于3-D可视成像仪和雪崩光电二极管成像仪的制造。