展望22nm技术节点

摘要

为了实现22nm技术节点，工程师必须在许多方面做出重大决定，例如：是否要从平面化的CMOS器件结构转变为多栅结构；是否要使用不同的沟道材料；以及是否要用铜插入来代替钨插入。