透射电子显微镜机械泵故障诊断及维修一例

摘要

真空系统是电子显微镜的重要组成部分,对电镜的性能影响极大。日本电子2100透射电镜对真空度的要求很高,目前采用机械泵-油扩散泵-离子泵三级真空系统,真空达不到仪器使用要求,电镜无法正常运转。本文介绍一例透射电镜机械泵的维修案例,分析故障现象产生原因及进行排除,最后对本案例进行分析讨论。