一种新的离子探针微区定位方法

摘要

本文采用体视显微镜，铝箔和十字交叉丝定位法的有机配合，在ＬＴ－１Ａ型离子探针上准确而直观地对一次离子束进行了定位，成功地测量了缺口顶端沿某一方向上氢浓度的分布。对这种定位方法的使用范围进行了探讨。