纳米多层膜力学性能研究进展

摘要

由两种不同材料交替生长而形成的多层薄膜，其力学性能随调制周期的变化而发生变化，在某一范围出现超模、超硬等异常效应，由于其潜在的实际应用价值及理论意义，纳米多层膜的力学性能成为近年来人们研究的热点。本文综述了近年来国内外学者对纳米多层膜力学性能的研究结果，探讨了出现力学性能异常的机理，为设计新型的纳米多层膜镀层提供理论依据。