用于超精密加工表面形貌测量的几种光学方法

摘要

分析了超精密加工表面的检测技术现状，介绍了用于超精密加工表面微观形貌测量几种典型光学方法的测量原理，评述了各种光学仪器的优缺点及其测量分辨率，指出了光学测量方法的发展方向。