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董依依; 衷洪杰;
中国航空工业空气动力研究院;
微加工; 柔性薄膜; 等离子体表面处理; 光刻工艺; 磁控溅射;
机译:采用剥离工艺的高频载波型薄膜磁场传感器
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机译:基于微流控框架的阵列式葡萄糖生物传感器的制备与研究
机译:智能超声传感器系统:用于激发高频超声的氮化铝薄膜的研究 r n智能超声传感器系统:用于激发高频超声的氮化铝薄膜的研究
机译:高频溅射法制备氧化物薄膜及其应用研究
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机译:基于银纳米颗粒薄膜的湿度传感器通过静电喷射沉积工艺制备
机译:机载对称线阵传感器网络的无线信号源定位和信号采集。
机译:用于热流传感器的薄膜热敏电阻,以及使用用于热流传感器的薄膜热敏电阻的热流传感器
机译:传感器芯片,特别是用于确定诸如气体流量之类的流量参数的热流量传感器芯片,包括用于确定流量参数的传感器元件,以及通过冷凝温度来加热物质的冷凝加热器
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