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Lift-off工艺制备压电薄膜加速度传感器电极的研究

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研究Lift-off工艺制备金属电极,以避免用化学试剂湿法腐蚀对图形轮廓及下层压电材料造成损坏.对比AZ1500正性光刻胶和AZ5214反转光刻胶,表明AZ5214经过适当的工艺可形成倒梯形光刻胶侧壁,即光刻胶侧壁图形上宽下窄,使淀积的金属在光刻胶掩膜和裸露的硅片衔接区域断开,有利于Lift-off工艺的进行,并减少图形边缘毛刺.

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来源
《四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会》|2014年|117-121|共5页
会议地点长沙
作者
姚明秋; 王旭光; 唐彬; 苏伟;
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作者单位

四川省电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.17:TP203;
关键词
加速度传感器; 金属电极; 压电薄膜; Lift-off工艺; 光刻胶侧壁;
入库时间 2022-08-17 10:33:28

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