重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破

摘要

中国科学院重庆绿色智能技术研究院近日成功研制了用于微电子光刻的“2～12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、液晶面板和触摸屏等光刻装备的“5kW、8kW、10kW汞灯替代UVLED光源模组”系列产品。