中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心 北京 100049;
中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心 北京 100049;
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心 北京 100049;
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心 北京 100049;
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 北京 100083;
中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心 北京 100049;
北京量子信息科学研究院 北京 100193;
北京市半导体微纳集成工程技术研究中心 北京 100083;