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基于等离激元多重杂化效应的光吸收结构

             

摘要

近年来,以聚合物为代表的高分子材料由于具有比其他光吸收材料(如半导体材料、碳基材料以及贵金属纳米材料)更好的柔性和粘弹性而受到广泛关注.本文基于等离子体再聚合技术和磁控溅射工艺在聚合物材料层上制备了具有等离激元多重杂化效应的光吸收结构,该结构具有宽谱高吸收特性.该结构的制备工艺简单易行,对不同聚合物材料具有通用性,在光学器件领域具有广泛的应用前景.

著录项

  • 来源
    《物理学报 》 |2021年第4期|340-348|共9页
  • 作者单位

    中北大学仪器与电子学院 太原 030051;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

    江苏创芯海微科技有限公司 无锡 214001;

    中北大学仪器与电子学院 太原 030051;

    中北大学仪器与电子学院 太原 030051;

    中北大学仪器与电子学院 太原 030051;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

    中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心 北京 100029;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

    等离子体再聚合; 复合纳米森林结构; 光吸收结构; 等离激元多重杂化;

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