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陈建文; 傅淑芬;
无;
机译:在没有缓冲气体的双组分气体混合物上,强大的气体放电切换arf-,krcl-,krf-和xecl激光器
机译:在恒定放电功率条件下,驱动频率对电容放电中电子能量分布函数的影响
机译:电容耦合RF放电中的电子能量分布函数:正电Ar和负电SiH4放电之间的差异
机译:场致发射汤森放电制度中的电子能量分布函数和速率系数*
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:电子能量分布对等离子体放电磁滞的影响:理论实验和建模
机译:一种计算气体放电中电子能量分布函数时间演化的新算法
机译:使用由arF和KrF激光器驱动的金属光电阴极产生的多千安培电子束
机译:输运系数的计算方法,输运系数装置的计算以及输运系数的计算程序
机译:在ArF准分子激光器的激光气体中,在ArF准分子激光器的激光气体中,
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
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