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黄建军; 余建华; 等;
深圳大学理学院实验中心,深圳,518060;
深圳大学光电子系,深圳,518060;
德国鲁尔大学电子工程与信息技术系,波鸿,D-44780,德国;
射频放电; 阻抗测量; 等离子体诊断;
机译:射频磁控管Ar / N-2放电的等离子体诊断
机译:六甲基二硅氧烷/氧气射频辉光放电沉积SiO_x膜:通过等离子体诊断优化工艺
机译:使用新方法确定杂散阻抗的射频放电阻抗测量
机译:射频激发CO2平板激光器和放电室的阻抗测量
机译:电池供电的射频预电离系统,用于Caltech磁流体动力驱动的喷射实验:射频放电特性和MHD驱动的喷射动力学。
机译:用于射频辉光放电等离子体容易制备的ARGET ATRP的高反应性卤素酯表面引发剂
机译:用于HiPIMS放电的电等离子体诊断技术的发展
机译:用于原子钟的射频放电灯的振荡器模型:作为复合渗透介质的射频放电。
机译:扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
机译:平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译:用于气体放电光源的射频激励保护电极结构(用于射频激发气体放电光源的屏蔽销电极结构)
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