有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究

摘要

常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.性能良好的薄膜电阻率为6.5×10-3Ω*cm,载流子浓度为1.2×1020cm-3,霍耳迁移率是9.7cm2*V-1*s-1.薄膜在可见光区的平均透过率达到了85%.