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反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究

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利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和气压等参数的关系曲线.

著录项

来源
《物理学报》 |2005年第10期|4794-4798|共5页
作者
吴静; 张鹏云; 宋巧丽; 张家良; 王德真;
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作者单位

大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;

大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;

大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;

大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;

大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
尘埃等离子体; 尘埃空洞; 尘埃云;

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