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卫永霞; 钱晓梅; 俞笑竹; 叶超; 宁兆元; 梁荣庆;
苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料实验室,苏州,215006;
复旦大学现代物理研究所,上海,200433;
SiCOH薄膜; O2掺杂; 介电性能; 键结构;
机译:60 MHz / 2 MHz双频放电的C2F6 / O2 / Ar等离子体化学性质及其对SiCOH低k膜刻蚀的影响%60MHz / 2 MHz双频放电的C2F6 / O2 / Ar等离子体化学性质及其对SiCOH低k膜的蚀刻
机译:Sn掺杂对喷雾热解法制备TiO2薄膜结构,光学和电学性能的影响
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机译:掺杂浓度对mn掺杂CdO薄膜结构,形貌,光学和电学性能的影响
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