微小电容测量仪500 fF/1 MHz溯源方法研究

摘要

fF量级高频微小电容测量在军工电子产品领域有着重要作用,针对微小电容测量仪500 fF/1 MHz点无法溯源的现状,研制了惰性气体封装的500 fF高频标准电容器作为传递标准。建立高频小电容测量模型,基于“反算法”估算出500 fF高频标准电容器分布参数,称作“理论推导”溯源方案,不确定度优于0.15%;利用3台同等量级的高频微小电容测量传递标准,称作“计量比对”溯源方案,不确定度优于0.07%。利用以上2种方案对同1台仪器开展溯源,实验数据结果基本一致,能够满足用户使用要求,为更低容值、更高频率的微小电容的溯源提供了可参考的路径。