用于线宽测量的双探针原子力显微镜

摘要

双探针原子力显微镜可以有效地消除传统原子力显微镜的探针形状对线宽测量的影响,实现线宽的真三维测量。双探针原子力显微镜测量装置由测头系统、双探针扫描系统、视觉对准系统、位移测量系统构成。测头系统中采用了自感应式音叉探针简化结构。双探针测量方法共分为2步:第1步,通过2探针的接触对准确定测量坐标零点;第2步,2探针分别扫描待测线宽两侧壁,根据已确定的坐标零点拼合2次扫描所得的位移数据,从而计算可得线宽值。接触对准中,利用了图像边缘提取定位和针尖反馈扫描对准相结合的探针对准方法,提高了对针精度。