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差动光栅式精密定位精度的提高

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摘要

介绍了基于差动光栅结构的激光莫尔精密定位原理,分析了该光栅结构在实际工程应用中的莫尔信号变化特点.从双光栅计量的基本数学模型出发,详细讨论了5种影响定位精度的因素,给出了相应的数值计算结果,并根据这一结果提出了在工程应用中提高定位精度的措施.

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来源
《计量学报》|2006年第1期|7-11|共5页
作者
张迎新; 刘京南; 内田敬久;
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作者单位

东南大学自动控制系,江苏,南京,210096;

东南大学自动控制系,江苏,南京,210096;

爱知工业大学智能机械工学科,爱知,470-0392,日本;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类角度计量;
关键词
计量学; 精密定位; 差动光栅; 莫尔信号;

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