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纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对

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对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于纳米光栅栅距的检定校准.

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来源
《计量学报》 |2008年第z1期|118-121|共4页
作者
高思田; 邵宏伟; 王春艳;
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作者单位

中国计量科学研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何量计量;
关键词
计量学; 纳米计量; 光栅; Littrow衍射方法;

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