压电参数的光反馈干涉测量方法

摘要

研究了光反馈自混合干涉现象,建立了干涉法测量形变的原理,从而提出了一种基于光反馈干涉效应测量压电应变常数的方法.设计了梯度迭代算法,由实验数据提取被测压电器件的应变量.用一种已知参数的压电器件对此方法进行了验证,测试结果与参照值误差不超过5%.光反馈干涉测试系统所需光学元器件少、结构紧凑,既能用于实验室也能用于工厂车间.