CdIn_2O_4和Cd_2SnO_4薄膜X－光电子能谱研究

摘要

研究了在Ａｒ＋Ｏ２混合气氛中从Ｃｄ－Ｉｎ和Ｏｄ－Ｓｎ合金靶射频反应溅射而成的ＣｄＩｎ２Ｏ４和Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｘ－光电子能谱。实验结果表明了粉末Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３和ＣｄＩｎ２Ｏ４、Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ３ｄ３／２和３ｄ５／２ＸＰＳ峰值位置和形状的区别，并讨论了Ｏ１ｓＸＰＳ峰随氧浓度的变化。当氧浓度增加时，Ｏ１ｓ分为两个峰。