Cdln2O4和Cd2SnO4薄膜X—光电子能谱研究

摘要

研究了在Ａｒ－Ｏ２混合气氛中从Ｃｄ－Ｉｎ和Ｃｄ－Ｓｎ合金靶射频反应溅射而的ＣｄＩｎ２Ｏ４和Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｘ－光电子能谱。实验结果表明了粉末Ｃｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，ＳｎＯ２，Ｉｎ２Ｏ３和ＣｄＩｎ２Ｏ４，Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｃｄ，Ｉｎ，Ｓｎ３Ｄ３／２和３ｄ５／２ＸＰＳ峰值位置的形状的区别，并讨论了Ｏ１ｓ。ＸＰＳ峰随氧浓度的变化。当氧浓度增加时，Ｏ１ｓ分为两个峰。