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平行平面穿通结击穿电压的计算及比较

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本文研究平行平面穿通结击穿电压的计算.首先根据电离率积分方程得出以归一化外延层厚度为变量的穿通结击穿电压拟合表达式，然后以此为基础，比较了另两种解析方法计算穿通结击穿电压的结果.分析表明：校正临界电场法可给出与电离率积分模式一致的击穿电压，而经典临界电场法将导致较大的误差.

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来源
《电子学报》 |2001年第5期|689-691|共3页
作者
何进; 张兴; 黄如; 王阳元;
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作者单位

北京大学微电子学研究所,;

北京大学微电子学研究所,;

北京大学微电子学研究所,;

北京大学微电子学研究所,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN323+4;
关键词
穿通结; 击穿电压; 经典临界电场法; 校正临界电场法; 电离率积分;

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