VLSI集成电路参数成品率及优化研究进展

摘要

VLSI的参数成品率是与制造成本和电路特性紧密相关的一个重要因素,随着集成电路(IC)进入超深亚微米发展阶段,芯片工作速度不断增加,集成度和复杂度提高,而工艺容差减小的速度跟不上这种变化,因此参数成品率的研究越来越重要.本文系统地讨论了参数成品率的模型和设计技术研究进展,分析不同技术的特点和局限性.最后提出了超深亚微米(VDSM)阶段参数成品率设计和成品率增强面临的主要问题及发展方向.