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独创性声明和关于论文使用授权的说明
第一章绪论
§1.1集成电路参数成品率的研究意义
§1.2参数成品率的研究内容与现状
§1.3集成电路参数成品率的研究体系
§1.4本论文的内容与安排
第二章IC参数成品率的理论基础
§2.1IC制造中的统计性
2.1.1统计模型与模型参数提取
2.1.2变量分析方法(ANOVA)
2.1.3蒙特卡罗方法与拟蒙特卡罗方法
2.1.4抽样方法
§2.2 IC制造的统计最优化理论
2.2.1统计最优化理论
2.2.2 IC设计中的最优化理论
§2.3本章小结
第三章参数成品率模型与优化
§3.1参数成品率模型
§3.2参数成品率的MC估计方法
§3.3爹数成品率的优化理论
3.3.1统计性方法
3.3.2确定性方法
3.3.3中心值容差耦合设计方法
§3.4空间分离与器件失配分析
§3.5本章小结
第四章均匀设计的参数成品率优化
§4.1 MC方法及方差减小技术
§4.2拟蒙特卡罗方法
4.2.1均匀性度量
4.2.2均匀表的构造方法
4.2.3均匀设计的适用性和局限性
4.2.4均匀随机设计抽样
§4.3均匀设计在参数成品率估计和优化中的应用
§4.4本章小节
第五章分层成品率的效益模型
§5.1电路性能指标函数的构造与分档
§5.2基于最优分档的效益优化模型
§5.3模型的求解
5.3.1模型的简化及误差估计
5.3.2模型的求解
§5.4算法检验与分析
5.4.1测试函数检验
5.4.2二输入与非门电路检验
5.4.3结果分析
§5.5本章小结
第六章基于均匀试验设计的RSM和成品率优化
§6.1响应表面宏模型
§6.2回归分析与方差检验
6.2.1回归分析
6.2.2方差检验
§6.3试验设计
6.3.1正交试验设计
6.3.2均匀试验设计
§6.4参数成品率设计
6.4.1集成电路成品率的三次设计
6.4.2参数成品率设计
6.4.3参数成品率的设计模型
§6.5响应表面模型的成品率优化
6.5.1成品率优化算法
6.5.2两级CMOS运算放大器的优化
§6.6本章小结
第七章最小映射距离分析
§7.1最小距离分析
§7.2映射距离最小化的成品率优化算法实现
7.2.1全局优化
7.2.2局部优化
§7.3实例验证
§7.4小结
第八章结束语与未来展望
致谢
参考文献
博士期间发表的主要论文和科研工作
