封离式气体激光器的长期质谱分析采样技术

摘要

本文介绍一种对充气器件进行长期质谱分析采样的技术。作者利用自制的平面型微孔流量阀门及四极质谱系统,研究CO2激光器的寿命,发现了一些有意义的现象,指出阴极材料溅射所造成的吸气是导致激光器寿命终结的主要原因。