工艺和器件统计模拟程序MICSPADS

摘要

本文介绍了一个新的工艺和器件统计模拟程序MICSPADS,着重介绍了其基本思想、程序结构及特点。用这个模拟程序能求出各种常规工艺下各种典型半导体器件的模型参数的统计分布。计算出的模型参数可直接用于电路分析程序SPICE中。并用此程序分析了MOS场效应管阈值电压与沟道注人剂量的统计关系。