具有微小角度零件的加工及检验方法

摘要

针对某大型空间红外相机装调过程中某反射镜调整垫需具有微小角度的需求,提出一套采用光学加工技术进行加工和检测的方法.增加6块反射镜参与加工和检测,分别检测被加工零件的4个特征点高度、零件受加工面的初始角度和零件背面.使用干涉仪对6块反射镜进行检验,获得的干涉条纹可计算出零件受加工面与初始面的夹角,推算出零件高点与低点的高度差,指导进一步加工的加工量和加工角度.通过零件受加工面与反映零件背面反射镜面之间干涉条纹的差别,计算二者所成角度的数值.在80 mm宽的调整垫上,加工所得顶面与底面最终形成0.21"的夹角,调整垫上边缘和下边缘高度差为0.100λ(λ为可见光波长,λ=632.8 nm),即63.28 nm,处于误差范围内.将调整垫装入系统,经过力学试验和热光学试验,仍满足设计要求.结果 表明:对于尺寸不大的机械零件,采用光学加工方法获得所需微小角度的平面是可行的;使用干涉仪对辅助反射镜表面进行干涉检测,并推算零件表面的加工量是能够指导加工进行的;通过辅助反射镜的干涉图计算被加工零件的表面高度差能够满足光学系统装调的需要.