多波段红外增透与保护膜技术的研究

摘要

采用电子束真空镀膜和离子辅助沉积的方法,在口径φ150mm,厚度6mm且具有较大曲率的多光谱ZnS导流罩上,镀制红外增透保护膜.所镀膜层在3～5μm平均透过率高于90%,在8～10μm平均透过率高于92%,并且能够承受恶劣的环境测试.