基于三维有限元法的MEMS毫米波滤波器设计

摘要

基于三维有限元法设计毫米波微机电系统(MEMs)带通滤波器,可借助于CAD软件使整个滤波器设计流程更加方便快捷,结果与传统微尺寸结构的FDTD分析法基本一致.同时给出了一种简便的毫米波带通滤波器的MEMS加工方案,并针对该加工方案进行了关键参数的工艺误差仿真,为毫米波MEMS滤波器设计提供了一些有意义的理论及工艺分析,对于利用MEMS工艺制造的毫米波微尺寸无源器件设计也具有很大的参考价值.