机译:具有集成压阻传感器和热双压电晶片执行器的微机械原子力显微镜传感器,用于高本征模式下的高速攻丝模式原子力显微镜相位成像
机译:基于催化厚膜/ SnO_2薄膜双层和薄膜加热器的微机械气体传感器第1部分:CH_4感测
机译:基于催化厚膜/ SnO_2薄膜双层和薄膜加热器的微机械气体传感器第2部分:CO感测
机译:集成磁传感器的微加工薄膜MI元件
机译:用于微和纳米机电系统的原子层沉积薄膜,其应用在短波长自适应光学中。
机译:更正:LiuW.等。基于超高频微机电谐振器的纳米复合聚电解质薄膜涂层的高灵敏度湿度传感器。微型机械20178116
机译:迈向聚合物薄膜中的集成共振和干涉传感器
机译:用于集成光学元件的有源薄膜光学元件。