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机译:离子束光刻工艺设计
Ruchhoeft, Paul;
University of Houston;
机译:电子束诱导的表面活化:通过催化工艺光刻制造纳米结构的方法
机译:用于电子束母版的耐酸树脂基化学放大正性抗蚀剂:设计和光刻性能
机译:激光束计量系统,激光束系统,EUV辐射源和光刻设备
机译:离子束,热工艺和光刻挑战
机译:金属表面沉积和表征:超高真空研究和电子束光刻研究。
机译:制备石墨烯生物传感器的清洁室的光刻工艺
机译:使用等离子体产生的电子束的聚合物光刻处理
机译:改进或有关将设计或轮廓转移到石版,锌,铝或其他用于平版印刷或类似工艺的物质中。
机译:分光镜光学设计可保持折反射光刻系统的未翻转(未镜像)图像
机译:保留分光石版印刷系统未翻转的未成像图像的分束器光学设计
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