Lehigh University.;
机译:三氟化氮和氮等离子体处理对铝诱导a-Si:H结晶过程中小丘形成的影响
机译:气体流量对双频CF_4 / C_4F_8 / Ar电容耦合等离子体中带有非晶碳掩模的低k sicoh膜蚀刻特性的影响
机译:气体流速对CH_2F_2 / N_2 / Ar电容耦合等离子体中具有极紫外光刻胶图案的氮化硅刻蚀特性的影响
机译:用三氟化氮干法刻蚀并用ALD氧化铝钝化的n型c-Si上的p +发射极
机译:三氟化氮/乙烯等离子体中的氧化硅和氮化硅蚀刻机理。
机译:通过电感耦合等离子体(ICP)和器件特性优化准垂直GaN肖特基势垒二极管(SBD)的台面蚀刻
机译:六氟化硫-氮混合物填充的正和负杆面间隙的静态场击穿和冠冕特性。
机译:等离子体和离子蚀刻用于失效分析。第2部分。使用Technics Giga Etch 100-E等离子蚀刻系统对塑料封装和其他半导体器件材料进行蚀刻