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李石金;
无;
二氧化硅; 离子蚀刻; 等离子体; 磁控管;
机译:通过在远程全氟化碳等离子体中添加含氮气体来提高硅和二氧化硅的蚀刻速率
机译:由超临界二氧化碳溶液形成聚(1,1,2,2-四氢氟丙烯酸十二烷基酯)亚微米纤维和颗粒
机译:四氟化碳和氩等离子体蚀刻的AlGaN表面之间的比较:氟杂质掺入表面的影响
机译:在AI2O3-TiC基板上的氟基等离子体蚀刻的空气轴承表面(ABS)蚀刻的侧壁上演示了从AIF3重沉积到聚合物重沉积的改性
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:二氧化硅气凝胶介质中通过等离子体共振活化二氧化碳加氢
机译:确定Fe,Zn,Cu,mn,外来物质,二氧化碳,二氧化碳,二氧化硅,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化碳,二氧化硅发射光谱法和原子吸收光谱法
机译:亚微米聚合物纤维的电纺丝由聚(四氢全氟辛基丙烯酸酯-r-甲基甲基丙烯酸甲酯)共聚物电纺丝而成。
机译:蚀刻玻璃/二氧化硅涂层-使用四氟化碳等离子体和光刻胶掩模
机译:磁控管装置,磁控管装置的方法和用途318,892乙基1-环丙基-7-氟-8-三氟甲基-1,4-二氢-4-氧代-3-喹啉羧酸酯组件
机译:一种在高密度等离子体蚀刻设备中选择性地蚀刻未掺杂的二氧化硅的掺杂二氧化硅的方法
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