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Feedback controlled RF source for microplasma production.

机译:反馈控制的射频源,用于产生微等离子体。

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摘要

This thesis focuses on the design and development of a feedback controlled radio frequency power supply. The power supply and controller create a stable microwave-induced microplasma. This system fulfills many of the requirements necessary for incorporating plasma technology into handheld devices for chemical analysis by emission spectroscopy.;The control system was simulated using Simulink and implemented with a PIC18F2550 microcontroller. It is responsible for evaluating the attached plasma generator to find the correct resonance frequency necessary to start the microplasma. Once the microplasma source is operating, the controller maintains constant absorbed power in the non-linear load at the optimal driving frequency.;The RF source developed in this work allows automatic operation and control of the microplasma with changing temperature and pressure for the first time. This is a key step in adapting this source for wide scale integration into robust environmental sensors.
机译:本文主要研究反馈控制的射频电源的设计与开发。电源和控制器可产生稳定的微波诱导的微等离子体。该系统满足了将等离子体技术整合到手持设备中以通过发射光谱进行化学分析的许多必要要求。该控制系统使用Simulink进行了仿真,并使用PIC18F2550微控制器实现。它负责评估连接的等离子体发生器,以找到启动微等离子体所需的正确共振频率。一旦微等离子体源开始工作,控制器便会在非线性负载下以最佳驱动频率保持恒定的吸收功率;该工作中开发的RF源允许首次在温度和压力变化的情况下自动操作和控制微等离子体。 。这是调整此来源以将其大规模集成到强大的环境传感器中的关键步骤。

著录项

  • 作者

    Pringle, James.;

  • 作者单位

    Tufts University.;

  • 授予单位 Tufts University.;
  • 学科 Engineering Electronics and Electrical.
  • 学位 M.S.
  • 年度 2008
  • 页码 126 p.
  • 总页数 126
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 无线电电子学、电信技术;
  • 关键词

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