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致谢
序
1绪论
1.1 引言
1.1.1真空度对真空开关工作特性的影响
1.1.2真空灭弧室真空度的变化与真空寿命
1.2真空灭弧室真空度离线测试和测量方法简介
1.2.1真空度测量技术简介
1.2.2真空灭弧室真空度的离线测试和测量方法
1.3真空开关真空度在线监测方法研究现状
1.3.1基于旋转式电场探头的屏蔽罩电位法
1.3.2光电变换法
1.3.3耦合电容法
1.3.4冷阴极磁控放电法
1.4本论文采用的方法、目的及主要工作
1.4.1本论文采取的方法和论文的目标
1.4.2论文主要工作
2反磁控冷阴极电离真空规的理论基础
2.1冷阴极电离真空规概述
2.2气体放电基础
2.2.1气体放电全伏安特性
2.2.2汤生放电理论
2.3反磁控冷阴极真空规放电的理论分析
2.3.1反磁控冷阴极真空规的着火理论
2.3.2考虑空间电荷效应的反磁控稳态放电特性
2.3.3低气压下交叉电磁场放电的不稳定性
2.4高真空反磁控冷阴极放电的计算机模拟研究
2.4.1蒙特卡洛方法简介
2.4.2反磁控气体放电的蒙特卡罗模型的建立
2.5本章小节
3反磁控冷阴极电离真空规脉冲放电操作模式的实验研究
3.1反磁控冷阴极真空规的现有实验结论回顾
3.1.1放电电流-压强的特性曲线及其拐点
3.1.2点火特性
3.1.3出气和泵效应
3.1.4长期稳定性
3.1.5冷阴极真空规的脉冲放电操作模式
3.2反磁控冷阴极真空规管的设计
3.2.1交叉电磁场的理想配置
3.2.2电极材料的选择
3.2.3点火极的设置
3.2.4实用二极型反磁控规管的设计
3.3实验装置介绍
3.3.1真空系统
3.3.2被测规管
3.3.3脉冲高压产生、放电电流测量及控制电路部分
3.3.4上位计算机操作软件
3.4反磁控冷阴极真空规脉冲放电的实验结果及讨论
3.4.1被测压强和放电电流的关系曲线
3.4.2放电电流和放电空间长度的关系
3.4.3磁感应强度对放电电流的影响
3.4.4拓展被测压强下限的方法
3.4.5 IMG操作电压的确定
3.4.6被测压强较高时的恒流测量方式
3.4.7小结
4智能真空度传感器的设计
4.1放电部分-反磁控规管的设计
4.1.1真空灭弧室的基本结构[69]
4.1.2真空度传感器放电部分的设计
4.2传感器的电路部分
4.2.1高压产生电路
4.2.2放电电流的程控放大电路
4.2.3无线通信接口电路
4.2.4传感器电池的选择
4.2.5抗干扰措施及绝缘
5结论
参考文献
作者简历
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