面向硅基光学元件超精密修形的等离子体加工系统设计

目录

第1章 绪 论

1.1 课题来源及研究背景和意义

1.2 国内外研究现状及分析

1.3 国内外文献综述简析

1.4 本课题主要研究内容

第2章 大气等离子体加工机床系统设计及搭建

2.1 引言

2.2 等离子体机床机械结构及运动方案设计

2.3 等离子机床数控系统及接口设计

2.4 等离子体发生及相关系统设计

2.5 等离子子加工系统状态监控及智能化控制

2.6 本章小结

第3章 双模式快换等离子体炬设计及工艺实验

3.1 引言

3.2 双模式快换等离子体炬及去除函数标定

3.3 等离子体炬基础工艺实验研究

3.4 加工模式及电极对去除函数的影响规律

3.5 本章小结

第4章 大气等离子体随机路径算法设计及实验研究

4.1 引言

4.2 确定性光学加工技术原理及流程

4.3 自由边界多向随机路径算法及加工实验

4.4 随机路径迭代修形仿真及加工

4.5 本章小结

结论

参考文献

声明

致谢