高陡度内外腔共形光学元件的超精密车削方法

摘要

本发明公开了一种高陡度内外腔共形光学元件的超精密车削方法，步骤包括利用三坐标测量机测量内外腔的形状位置精度，建模分析内外腔的加工余量并确定加工顺序；如先加工外表面，则以端面为粗基准粗车外表面，以外表面为基准粗车内表面和端面，精车内表面，以端面为精基准精车外表面，结束并退出；否则，以外表面截线为粗基准粗车内表面和端面，以内表面为基准粗车外表面，精车外表面，以外表面为精基准精车内表面和端面，结束并退出。本发明能够确保不同毛胚精度下加工的合格率，增加对毛胚形状的适应性，确保加工精度，能够实现对高陡度内外腔共形光学元件的高形状精度、高位置精度、高表面质量的加工，并可降低加工成本，提高加工效率。